稀有气体
稀有气体，也称为惰性气体，是人类已知的最惰性，不易反应的元素。 它们在环境中的浓度极低，由空气分离装置（ASU）制造。 由于其独特的化学性质，专家们发现它们具有十分新颖且有趣的应用。
氙气
稀有气体之星
氙气（Xe）是最稀有的惰性气体之一，但由于其用途广泛而极为珍贵。 如果您看到汽车发出明亮的白光，这正是氙气在工作中。 氙气灯能够发出极高的流明光，同时具有极高的能源效率，因此在高性能照明行业得到了广泛的应用。
下载氙气手册
氙气生产
空气产品公司自 20 世纪 60 年代以来一直在为卫星计划，太空旅行，航天器推进剂和卫星推进器供应氙气。 我们还供应于半导体，照明和医疗市场。
空气产品公司了解纯度。 半导体工艺中所用的氙气必须非常纯净，因为任何杂质都会污染硅基材或与工艺化学品（如氟）发生反应，从而产生有毒的高腐蚀性氟化氢（HF）。
在航空航天中，由于电极的敏感性，氙气的氧气和水含量必须非常低，以免烧坏电极。 空气产品公司超高纯度氙气是专门为伽玛射线和 X 射线光谱探测器设计的，用于对宇宙和暗物质进行基础研究。
空气产品公司了解纯度。 半导体工艺中所用的氙气必须非常纯净，因为任何杂质都会污染硅基材或与工艺化学品（如氟）发生反应，从而产生有毒的高腐蚀性氟化氢（HF）。
在航空航天中，由于电极的敏感性，氙气的氧气和水含量必须非常低，以免烧坏电极。 空气产品公司超高纯度氙气是专门为伽玛射线和 X 射线光谱探测器设计的，用于对宇宙和暗物质进行基础研究。
应用
半导体和内存芯片制造
空气产品公司高纯度氙气特别适合用作气氛，等离子以及刻蚀和沉积的离子束源。
航空航天和离子发动机
高纯度氙气对于确保电极的长寿命至关重要。
照明
高纯度氙气对于保证优异的亮度和较长的灯丝寿命至关重要。
暗物质研究
超高纯度氙气是专为γ射线和 X 射线光谱检测器检测暗物质而设计。
麻醉和 CT 扫描
超高纯度医用级氙气用于麻醉，因为它对神经系统十分安全。
半导体和存储芯片制造用氙气
氙气在半导体制造工艺中用于微芯片的刻蚀和沉积，既可用作气氛和等离子体，又可用作刻蚀和沉积工艺的离子束源。 此工艺中使用的氙气必须非常纯净，因为任何杂质最终都会污染硅衬底或与工艺化学品（如氟）发生反应，从而产生有毒的高腐蚀性氟化氢（HF）。 作为电子行业气体产品和服务领域的全球领导者，空气产品公司的氙气产品由我们最先进的电子级工厂生产，以获得更好的质量保证。 可用于准分子激光，激光缓冲气体，DRAM 和 3D NAND 及等离子显示面板的刻蚀。
综合气体供应
从大型空气分离装置到 6.0 级超高纯度气体，空气产品公司可以根据您的所有需求提供灵活的供气选择。