初级污泥和二级污泥（来自生物活性污泥处理厂）可能是来自废水处理过程的有价值的产品。大多数污泥组分由微生物可以降解的有机物质组成。这种特性可以作为生物处理过程的理论基础。在处理过程中，氧气提高了好氧微生物的活性，促进有机物质分解成二氧化碳和水，从而减少了活性污泥中固体成份。这就具有了节省处置费用的潜力。

高纯度氧可以成功用于速效污泥处理，并且在活性污泥处理过程中，加速就地处理能力。
采用氧气代替空气，提高了处理过程的温度，可以更好的满足污泥处理过程所须的热力学条件。