大宗气体电子特气 超高纯设备 / TRiMEGA Air Products Electronic Chemicals (APEC)
   MEGASYS™ 分析服务  环境应力筛选 
   
 
   

为芯片工厂提供电子化学品、设备和现场管理服务

 
   

空气化工产品公司旗下的 Schumacher部门,提供的CVD/沉积化学品和供应系统。

电子制程化学品(与Honeywell联盟)

CMP研磨浆(与DuPont联盟)

光刻胶相关化学品/显影液

用于超纯化学品现场生产的CHEMPURE™ GCG系统

MEGASYS®的现场操作经验
气体和化学品管理系统

 
   
 
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