为半导体行业提供全系列的标准化的针对客户设计的技术服务。

技术分析服务组

在制造工厂进行APIMS分析
分析所有大宗气体的颗粒杂质

客户应用组

在工艺排放物特征方面同IC和OEM厂商紧密合作
积极参与PFC室清洁，主要是NF₃ 和 C₂F₆的工艺过程的优化。
同OEM供应商紧密合作，确定气体纯度同工序中使用的工具的性能的关系。