艾必利®(Experis®)准分子激光混合气
便捷的本地化供应

准分子激光混合气是将卤化物(氟/氯)和稀有气体(氪、氖或氙)进行混合,从而在深紫外线范围内产生激光。凭借着30多年生产艾必利混合气体的丰富经验,空气产品公司生产的艾必利准分子激光混合气成分精准稳定,杂质含量超低,适合准分子光刻应用。本地化生产,让您无需再从欧美进口,节省时间和成本。

艾必利准分子激光混合气的优势:

  • 准分子激光混合成分稳定性更高、保质期更长
  • 水氧等影响卤化物稳定性的杂质含量更低
  • 无锡工厂本地化生产,快速响应您的需求
  • 配合本地化生产的6N超高纯气体和稀有气体,供应更可靠、便捷


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